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ADR/ADC 半導体自動欠陥レビュー・分類システム

製品名
ADR/ADC 半導体自動欠陥レビュー・分類システム



概要
レビューSEMに接続し、自動でウエハ欠陥のレビューを実施し、欠陥を分類するシステムです。微小な欠陥を画像認識技術により捕捉し、高倍率で自動撮影します。また、予め用意された多数の分類アルゴリズムによって、短時間で欠陥の分類が可能です。欠陥を学習させることにより、特殊な欠陥を検出することも可能です。
特徴
◆ 高分類精度
高精度の欠陥特長抽出アルゴリズムにより、High Accuracy, High Purityを実現しています。
◆ 豊富な分類クラス
予め50種類を越える分類が用意されていますので、分類ルールを作成しなくても運用を開始することができます。
◆ 簡単なADCレシピ作成
分類ルールを選択する、チューニングする、新たな分類ルールを作成するなど、先進的GUIによりADCレシピ作成が簡単に行えます。
◆ MDCの併用
ADCで分類できないUNKNOWN欠陥は、ユーザーがマニュアルで分類することができます。洗練されたGUIにより、大量の画像を簡単に短時間で分類することができます。
◆ 大規模システムへの対応
100万画像を超えるシステムを容易に構築することができます。様々なキーワードで、簡単に迅速に検索して参照することができます。例えば、特定の欠陥タイプを簡単に並べて見ることができます。
◆ 歩留管理システム(APEX)との連携動作
ADCやMDCの結果は、上位のAPEXシステムへ転送されて迅速に障害を検出したり、その原因を突き止めるのに利用されます。
 
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